国防科技大学清洗站及其耗材采购项目单一来源采购公示
2017-11-20 16:44:01|作者：清洁吧
| 清洗站及其耗材采购项目单一来源采购公示 |
| 根据军队采购相关规定，国防科技大学拟采用单一来源方式执行清洗站及其耗材采购，现将相关情况公示如下：一、项目名称：清洗站及其耗材采购项目二、公示时间：2017年11月20日-2017年11月28日三、采购内容：清洗站一套及相关化学试剂、气体等耗材一批。国产设备合同生效后，供方在90日内供货。进口设备免税手续办理完毕后90日内供货。交货地点：湖南省长沙市内招标人指定地点。清洗站设备配置清单及参数要求如下(标注★项为必须满足条件)：序号技术名称具体参数要求1主机结构不锈钢结构★2加工能力晶圆尺寸≥φ12”/φ300mm，厚度≥600μm★3承片台真空，满足4”、8”、12”晶圆清洗需求★4转速≥2000转/分★5压力控制具备空气/氮气和水压控制能力6安全配置配备空气/氮气、水和真空压力安全联锁装置★7辅件提供与清洗站匹配的压缩空气机、真空系统、纯水净化设备及管路，以及相关零配件，保障清洗站正常使用★8化学试剂及气体耗材不少于：乙醇试剂 500 ml*200瓶；乙硅烷：500 g；锗烷：200 g9功能用途用于切割，划片或其它加工过程的晶片/基板清洗和干燥，任意设定循环时间，水压，气压，温度等工艺参数，适于各种组件要求的清洗和干燥工艺，自动模式。四、拟单一来源供应商：北京仕航伟业科技有限公司五：单一来源理由：两次公开招标公示后唯一报名单位六：如对公示内容有异议的，请于公示期内以实名书面（包括联系人、地址、联系电话）形式将意见反馈至采购机构。七、联系方式聂参谋 联系电话：0731-84202042,15084832521。国防科技大学采购中心 |
