中国电子科技集团公司第二十六研究所 清洗机招标公告 
招标编号：GKJY-217183ZH-9107招标编码：DLZB.COM_20171123_100164427 
开标时间：2017-12-13标讯类别： 国际招标 
招标人：中国电子科技集团公司第二十六研究所 
资金来源： 其它 
投标邀请 
清洗机已具备招标条件，项目招标人为中国电子科技集团公司第二十六研究所，资金为国拨，出资比例为100%，资金已落实。北京国科军友工程咨询有限公司（招标机构）受中国电子科技集团公司第二十六研究所（招标人）的委托，现对该项目进行国际公开招标采购。 
1.招标产品的名称、数量及主要技术参数 
1.1货物需求一览表 

1.2主要技术参数： 
本次购买的清洗机主要用于工艺过程中3英寸～6英寸、厚度0.15mm～0.5mm的晶圆清洗，应满足清洗工艺要求；晶圆清洗采用标准花篮浸泡清洗方式。 
主要技术要求包括： 
（1）晶圆材料：铌酸锂、钽酸锂、水晶及异质键合晶圆。 
（2）尺寸：3"～6"可选。 
（3）晶圆厚度：0.15mm～0.5mm。 
（4）晶圆表面有机物检测：接触角CA≤10°。 
（5）晶圆表面颗粒： 
1）直径≥0.12?m的颗粒数≤10@100mm； 
2）直径≥90nm的颗粒数≤20@100mm。 
（6）温度控制：RT～150℃，精度±1℃。 
（7）颗粒度90nm去除率：≥95%。 
（8）破片率：＜1/100,000。 
（9）机械手臂自动传输连续无故障次数：＞500。 
（10）清洗工艺流程结束，检测晶圆表面有机物和颗粒。 
（11）具有兆声、超声清洗功能。 
（12）具有液体循环、夹具运动等清洗方式。 
（13）编程自动控制。 
以上指标仅是招标文件部分指标。 
1.3招标编号：GKJY-217183ZH-9107。 
2.对投标人的资格要求 
2.1 投标人或所代理的产品的制造商为中华人民共和国境外，且产品为全新产品。如为境内代理商，需具备法人资格，并提供有效的营业登记等许可经营的证明文件，必须获得制造商的合法授权，提供制造商授权书。 
2.2投标人拟投标产品的投标机型或同系列机型在国内半导体行业有用户。提供设备采购合同（所供产品须为此次投标产品制造厂商出品）、验收合格证和用户单位联系人、电话，以上佐证材料均需加盖投标单位公章。 
2.3 本项目不接受联合体投标。 
2.4 投标人必须向招标代理机构购买招标文件并进行登记才具有投标资格。 
2.5 接受委托参与项目前期咨询和招标文件编制的法人或其他组织不得参加投标。 
3.招标文件获取 
3.1 凡有意参加投标者，请于2017年11月23日至2017年11月30日（法定公休日、法定节假日除外），每日上午09时至11时，下午02时至04时（北京时间，下同）购买招标文件。 
3.2 招标文件售价：每包1000元人民币或150美元（招标文件售后不退）。 
3.3 购买招标文件地点：北京市海淀区中关村南大街31号8号楼210室。 
4.投标文件的递交 
4.1 投标文件递交的截止时间（投标截止时间，下同）为2017年12月13日09时30分，递交地点为重庆市南岸区南坪花园路14号会议室。 
4.2 逾期送达的或者未送达指定地点的投标文件，招标人不予受理。 
5.开标 
开标时间同投标文件递交截止时间，开标地点同投标文件递交地点。 
6.发布公告的媒介 
本次招标公告在“中国国际招标网”（www.chinabidding.com）和“”上发布。 
7.联系方式 
招标代理机构：北京国科军友工程咨询有限公司 
地 址：北京市海淀区中关村南大街31号8号楼二层 
邮 编：100081 
联 系 人：门蒙蒙 
电 话：010-68196113 
传 真：010-68118720 
电子邮件：gkzb59518823@163.com